TEGAL421等離(lí)子(zǐ)刻蝕機(jī)射頻(pín¶•)電(diàn)源的(de)維修及調整

發布日(rì)期：2023-08-24 Ω&€ 浏覽次數(shù)：1851

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各部分(fēn)電(diàn)路(lù)的(de)作(zuò)用β↓↔∏(yòng),DC Power Supply B♣÷✔γoard闆是(shì)一(yī)塊電(di©£ε‌àn)源闆提供射頻(pín)源工(gōng)作(zuò)所需。

AE 、ENI（MKS）、RFPP、ADL 、COMDEL 、ADTE‌εC 、SEREN 、 HUTTINGER。技(jβ'₹ì)術(shù)人(rén)員(yuánΩ©)有(yǒu)AE公司16年(nián)以上(sh >≈àng)工(gōng)作(zuò)經驗，
累計(jì)維修電(diàn)源和(héπ↔≠§)匹配器(qì)約2000台，有(yǒu)MKS原廠(chǎ£₽ng)工(gōng)作(zuò)12年(nián)的(de)資深工(₩‌Ωgōng)程師(shī)。公司維修所采用(yòng)的(de)零部件(jià$ ÷"n)等材料均為(wèi)原裝進口。公
司服務宗旨是(shì)：“精益求精，品質”。維修快(kuàiγσ←ε)可(kě)以當天完成，公司提供更長(cháng)的(d≥>✔e)質保期和(hé)更優質的(de)保修服務。

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